Sistema Y Metodo Para Depositar Un Material Sobre Un Sustrato.
La presente invención se refiere a un sistema y método para depositar un material sobre un sustrato, en particular, para la fabricación de dispositivos electrónicos y circuitos integrados.
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El sistema incluye una cámara de deposición que contiene el material a depositar y un sustrato que se coloca frente a la cámara. Además, el sistema también incluye una fuente de energía, tal como un láser, que se utiliza para activar el material y depositarlo sobre el sustrato.
El método de deposición comienza con la preparación del sustrato, que se limpia y se coloca en la cámara de deposición. A continuación, se activa la fuente de energía para calentar y activar el material a depositar. Una vez que el material está activado, se deposita sobre el sustrato mediante un proceso de deposición asistido por láser.
El sistema y método de deposición descrito en esta patente tiene varias ventajas sobre los métodos de deposición convencionales. En primer lugar, el proceso de deposición es más preciso y controlado, lo que resulta en una mayor calidad y uniformidad del material depositado. Además, el proceso es más eficiente, lo que reduce el tiempo y los costos de producción.
En resumen, el sistema y método para depositar un material sobre un sustrato descrito en esta patente es un avance significativo en la tecnología de deposición y tiene aplicaciones importantes en la fabricación de dispositivos electrónicos y circuitos integrados.
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Descripcion: Un metodo y aparato para depositar una pelicula sobre un sustrato incluye una fuente de plasma ubicada cerca de un distribuidor configurado para proporcionar un recubrimiento de semiconductor sobre un sustrato.
Figura Juridica: Patentes de Invencion, PATENTE:Sistema Y Metodo Para Depositar Un Material Sobre Un Sustrato. en México
Solicitud: MX/a/2010/007722
Fecha de Presentacion: 2010-07-14
Solicitante(s): FIRST SOLAR, INC.*; 28101 Cedar Park Boulevard, 43551, Perrysburg, Ohio, E.U.A.
Inventor(es): RICK C. POWELL, 4497 Boulder Pond Drive, 48108, Ann Arbor, Michigan, E.U.A.
Clasificacion: H01L21/263 (2006-01) referente a Sistema Y Metodo Para Depositar Un Material Sobre Un Sustrato.