Reactor De Plasma Para Un Proceso Combinado De Tratamientos Termoquimicos De Nitruracion En Aceros Especiales

Descripcion: La presente invencion se refiere a un reactor de plasma acoplado con una postdescarga microondas. La concurrencia de especies ionizadas y especies neutras pero activadas generadas en una postdescarga microondas permiten la difusion de nitrogeno en piezas de acero grado herramienta y la subsecuente formacion de una capa dura de nitruros. La pieza por nitrurar constituye el catodo del reactor, la pieza se coloca en una camara donde se realiza un vacio del orden de 10?3 Pa por medio de un sistema de bombeo mecanico. Las paredes de la pieza se conectan a tierra y la pieza a tratar a un potencial negativo del orden de los 600V, en este ambiente se produce un plasma debilmente ionizado en el entorno de la pieza. Con el proposito de mejorar la reaccion se transporta a la superficie de la pieza un flujo de especies neutras vibracionalmente excitadas y/o disociadas. La reactividad del medio puede controlarse a trave de la fraccion molar de N2, H2 o Ar en las mezclas que se llevan al substrato. La temperatura de la pieza se puede controlar por medio de la diferencia de potencial aplicada a la muestra. Se han determinado diversos parametros de operacion en el proceso para generar perfiles de dureza en funcion de la profundidad.

Figura Juridica: Patentes de Invencion, PATENTE:Reactor De Plasma Para Un Proceso Combinado De Tratamientos Termoquimicos De Nitruracion En Aceros Especiales en México

Solicitud: PA/a/2003/009970

Fecha de Presentacion: 2003-10-30

Solicitante(s):

Inventor(es): JOAQUIN OSEGUERA PEÑA, OLIMPIA SALAS MARTINEZ, ULISES FIGUEROA LOPEZ, Bohemia 11 No. 5, Bosques del Lago, 54764, Cuautitlan Izcalli, Estado de Mexico, MEXICO

Clasificacion: C21D1/00 (2006-01) referente a Reactor De Plasma Para Un Proceso Combinado De Tratamientos Termoquimicos De Nitruracion En Aceros Especiales