Procedimiento Para Obtener Peliculas De Dioxido De Silicio A Bajas Temperaturas Mediante Plasmas De Halogenuros De Silicio
Información de Patente de Invención
Resumen de la Invención
La presente invención se refiere a un contenedor de almacenamiento de revelador y un aparato formador de imágenes que incluye dicho contenedor. En particular, la invención se refiere a un contenedor de almacenamiento de revelador que es capaz de mantener la calidad del revelador durante largos períodos de tiempo y evitar la contaminación del mismo.
El contenedor de almacenamiento de revelador de la presente invención comprende una cámara de almacenamiento que contiene el revelador, una tapa de cierre hermético para cerrar la cámara de almacenamiento y una unidad de desgasificación. La unidad de desgasificación se encuentra instalada en la tapa de cierre hermético y se encarga de eliminar el aire y los gases disueltos en el revelador. De esta manera, se evita la oxidación del revelador y se garantiza su calidad durante largos períodos de tiempo.
Además, el contenedor de almacenamiento de revelador de la presente invención incluye una unidad de recirculación de revelador. La unidad de recirculación de revelador se encarga de mantener el revelador en movimiento constante para evitar la sedimentación de los componentes del mismo y garantizar su homogeneidad. La unidad de recirculación de revelador se encuentra conectada a una bomba de recirculación que se encarga de hacer circular el revelador a través de un circuito cerrado que incluye la cámara de almacenamiento y la unidad de desgasificación.
El aparato formador de imágenes que incluye el contenedor de almacenamiento de revelador de la presente invención se compone de una unidad de revelado y una unidad de fijado. La unidad de revelado se encarga de aplicar el revelador sobre la superficie del material fotosensible para formar la imagen. La unidad de fijado se encarga de fijar la imagen formada en el material fotosensible mediante la aplicación de un agente fijador.
En conclusión, el contenedor de almacenamiento de revelador y el aparato formador de imágenes de la presente invención ofrecen una solución efectiva para el almacenamiento del revelador y la formación de imágenes. La unidad de desgasificación y la unidad de recirculación de revelador garantizan la calidad del revelador durante largos períodos de tiempo, mientras que la unidad de revelado y la unidad de fijado garantizan la formación y fijación efectiva de las imágenes.
En conclusión, el contenedor de almacenamiento de revelador y el aparato formador de imágenes de la presente invención ofrecen una solución efectiva para el almacenamiento del revelador y la formación de imágenes. La unidad de desgasificación y la unidad de recirculación de revelador garantizan la calidad del revelador durante largos períodos de tiempo, mientras que la unidad de revelado y la unidad de fijado garantizan la formación y fijación efectiva de las imágenes.
Descripción Técnica Detallada (Abstract de Base de Datos)
La presente invencion se refiere a un procedimiento para obtener peliculas de dioxido de silicio a bajas temperaturas mediante plasmas de halogenuros de silicio, el cual comprende los pasos de: preparar una camara de reaccion libre de humedad en la cual se inserta un substrato por lo general de silicio monocritalino o de otro material, evacuando hasta aproximadamente -1 Torr; calentar el substrato hasta temperaturas medianas; alimentar simultaneamente un material fuente en una relacion de oxidante/halogenuro 50 a 250 de un flujo de gases a base de halogenuro de silicio de preferencia SiF4 o SiC14 y una fuente de oxigeno; formacion de un plasma mediante la aplicacion de un voltaje alterno que permita formar una densidad de potencia en el plasma creado de 150 a 250 mw/cm cuadrado y depositacion de la pelicula de dioxido de silicio sobre el substrato a presiones en la camara de 250 a 800 mtorr; caracterizado porque el calentamiento para la depositacion de pelicula se efectua a temperaturas bajas o sea de 150 a 350 grados C en comparacion con los procesos convencionales.
Detalles de la Patente
Figura Jurídica:
Patentes de Invencion
Número de Solicitud:
18616
Fecha de Presentación:
07-12-1989
Clasificación:
C01B-033/02
Solicitante(s):
Inventor(es):
CIRO FALCONY GUAJARDO, STEPHEN MUHL SAUNDERS, ARMANDO ORTIZ REBOLLO, MX
Información Adicional
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