Metodo Y Aparato Para Fabricacion De Sustratos Limpiados O Sustratos Limpios Que Son Procesados Adicionalmente.

La presente invención se refiere a un método y un aparato para la fabricación de sustratos limpiados o sustratos limpios que son procesados adicionalmente, lo cual es de gran importancia en ciertas industrias, como la electrónica, donde la limpieza de los sustratos es esencial para garantizar su correcto funcionamiento.

El método consiste en someter los sustratos a un proceso de limpieza mediante el uso de un gas de plasma, que se genera mediante la aplicación de una corriente eléctrica de alta frecuencia a través de un gas inerte, como argón o nitrógeno. Este proceso de limpieza es altamente efectivo en la eliminación de impurezas y contaminantes de la superficie del sustrato, como partículas de polvo, aceites, grasas y otros residuos.

Una vez que los sustratos han sido limpiados, se someten a un proceso adicional de procesamiento, que puede incluir la deposición de capas de material, la grabación de patrones o la realización de otras operaciones relacionadas con la fabricación de dispositivos electrónicos.

El aparato utilizado para llevar a cabo este método incluye una cámara de vacío, donde se coloca el sustrato a limpiar, y un generador de plasma, que se encarga de generar el gas de plasma utilizado en el proceso de limpieza. También se incluyen sistemas de control y monitoreo, que permiten ajustar y verificar los parámetros del proceso, como la potencia de la corriente eléctrica y la presión del gas.
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En resumen, este método y aparato para la fabricación de sustratos limpiados o sustratos limpios que son procesados adicionalmente representa una mejora significativa en la eficiencia y calidad de la fabricación de dispositivos electrónicos y otros productos que requieren superficies limpias y libres de contaminantes. Su aplicación en la industria puede resultar en una reducción en los costos de producción y una mejora en la fiabilidad y rendimiento de los productos fabricados.
Algunas patentes que relacionadas son:

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